各種金属・化合物粉

開発中高純度塩化物

JX金属グループでは、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、アルミニウム(Al)、コバルト(Co)、タンタル(Ta)、ニオブ(Nb)、ビスマス(Bi)の各種塩化物を取り揃えています。
半導体用CVD・ALDプロセス用途に加え、触媒、化学合成、コーティング材、積層セラミックコンデンサ(MLCC)用添加材としてご利用いただけます。

製品名 用途例
半導体用CVD・ALD フォトレジスト 触媒 化学合成 コーティング材 MLCC用添加材
MoO2Cl2 二塩化二酸化モリブデン 〇
MoCl5 五塩化モリブデン 〇 〇
AlCl3 三塩化アルミニウム 〇
WCl5 五塩化タングステン 〇
WCl6 六塩化タングステン 〇 〇 〇
CoCl2 二塩化コバルト 〇
TaCl5 五塩化タンタル 〇 〇 〇 〇
NbCl5 五塩化ニオブ 〇 〇 〇 〇 〇
BiCl3 三塩化ビスマス 〇
  • ※上記以外の塩化物やオキシ塩化物も取り揃えております

掲載製品の販売は、タニオビス・ジャパン株式会社にても行っております。

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